核心领域：压电 MEMS 谐振器设计、多物理场仿真、器件表征与商业化制造

技术方向：

MEMS 谐振器设计与优化：专攻 AlN-on-Si 压电谐振器（轮廓模式、酒窝模式、按钮模式、方形扩展模式），致力于提升液相环境下的品质因数（Q 值），用于传感与时序应用；

超声换能器（PMUT/CMUT）：设计压电微加工超声换能器，优化灵敏度与带宽，应用于测距、成像等领域；

传感器与执行器：研发多轴 MEMS 加速度计、微镜（用于 OCT）、微扬声器，覆盖工业监测与消费电子场景；

制造工艺与流片：精通 PIEZOMUMPS、POLYMUMPS、Teledyne DALSA MIDIS™ 等商业工艺，具备掩模版图设计（L-Edit）、MPW 流片、真空封装等全链条经验；

液相传感：探索谐振器在液体中的电学表征，解决寄生电容与馈通问题，应用于生物/化学传感。

工具与技能：ANSYS/COMSOL 多物理场仿真、网络分析仪与锁相放大器实验表征、C++ 编程，具备从概念设计到产业化落地的完整能力。